【市场营销】看懂光刻机-光刻工艺流程详解 看懂光刻机:工艺流程详解
什么是光刻机 光刻机是一种用于制造微电子芯片的关键设备。它可以通过光刻工艺将芯片图案投影到硅片上,从而形成微小的电路结构。光刻机是微电子工业中至关重要的一环,其性能和精度对芯片质量和性能有着直接的影响。 光刻工艺流程 光刻工艺是将芯片图案转移到硅片上的关键步骤。其基本流程包括:制作掩膜、涂覆光刻胶、暴光、显影、清洗等步骤。下面将详细介绍这些步骤。 制作掩膜 掩膜是光刻工艺中的重要部分,它相当于一个“模板”,用于将芯片图案投影到硅片上。制作掩膜需要使用电子束刻蚀技术或光刻技术,将芯片图案转移到掩